空氣潔凈度等級

核心光刻區(qū)需達(dá)到ISO 1級標(biāo)準(zhǔn)（每立方米≥0.1μm粒子數(shù)≤10個）

一般加工區(qū)維持ISO 3級標(biāo)準(zhǔn)（≥0.5μm粒子數(shù)≤1000個/m³）

采用ULPA超高效過濾器（U15級，過濾效率≥99.9995%）

 

溫濕度精密控制

溫度控制精度±0.1℃（22±0.1℃恒溫系統(tǒng)）

相對濕度控制±1%RH（45%±1%RH）

采用三級制冷系統(tǒng)（冷水機(jī)組+精密空調(diào)+FFU溫控模塊）

二、特殊建筑結(jié)構(gòu)要求

防微振設(shè)計

核心設(shè)備區(qū)振動控制VC-D級（1-80Hz頻段≤1.5μm/s）

采用彈簧隔振基礎(chǔ)+氣浮平臺雙重減振

建筑結(jié)構(gòu)振動傳遞損失≥30dB

 

電磁屏蔽系統(tǒng)

射頻屏蔽效能≥80dB（1MHz-10GHz）

接地系統(tǒng)阻抗≤0.5Ω

采用銅網(wǎng)屏蔽室+波導(dǎo)通風(fēng)窗設(shè)計

 

三、超純介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)

超純水系統(tǒng)

水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)：電阻率≥18.2MΩ·cm，TOC≤1ppb

采用雙級RO+EDI+UV氧化+終端過濾工藝

管道系統(tǒng)：316L EP級不銹鋼，電拋光處理（Ra≤0.25μm）

 

特種氣體系統(tǒng)

氣體純度：電子級（99.9999%以上）

輸配系統(tǒng)：雙套管檢漏設(shè)計，VCR面密封連接

配置在線純度分析儀（ppb級檢測精度）

 

四、能耗與智能化管理

節(jié)能設(shè)計

熱回收系統(tǒng)（熱回收率≥70%）

變頻控制系統(tǒng)（風(fēng)機(jī)能耗降低40%）

采用LED潔凈照明（能耗較傳統(tǒng)燈具低60%）

 

智能監(jiān)控系統(tǒng)

實時監(jiān)測2000+個數(shù)據(jù)點（包括粒子計數(shù)、分子污染等）

大數(shù)據(jù)分析預(yù)測設(shè)備維護(hù)周期

數(shù)字孿生技術(shù)實現(xiàn)虛擬調(diào)試

五、特殊防護(hù)措施

防靜電系統(tǒng)

地面電阻1×10^6~1×10^9Ω

工作服表面電阻≤1×10^10Ω

離子風(fēng)機(jī)覆蓋率100%

 

化學(xué)污染控制

AMC（氣態(tài)分子污染）控制：酸、堿、碳?xì)浠衔锞?lt;1μg/m³

化學(xué)過濾器效率≥95%

廢氣處理系統(tǒng)去除率≥99%

 

集成電路制造無塵車間建設(shè)周期通常需18-24個月，單位面積造價達(dá)3-5萬元/㎡。需通過SEMI S2/S8認(rèn)證，并建立嚴(yán)格的變更控制程序。隨著制程進(jìn)入3nm以下節(jié)點，環(huán)境控制正向分子級潔凈度方向發(fā)展，這對車間建設(shè)提出了更高要求。